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高精度、低功耗 MEMS氣壓傳感器的開發(fā)

更新時(shí)間:2016-11-13 11:06:00 點(diǎn)擊次數(shù):2929次
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概要
株式會(huì)社村田制作所開發(fā)了高精度、低功耗的靜電容量型MEMS氣壓傳感器。本產(chǎn)品應(yīng)用了2012年1月收購(gòu)的Murata Electronics Oy (以下稱: 村田芬蘭) 的靜電容量型 MEMS技術(shù),能夠不受溫度變化的影響檢測(cè)出氣壓。

背景
近年來,應(yīng)用于智能手機(jī)和平板電腦等移動(dòng)設(shè)備的導(dǎo)航系統(tǒng)和檢測(cè)人體的行動(dòng)、活動(dòng)等狀態(tài)的活動(dòng)監(jiān)視系統(tǒng)的研究和開發(fā)不斷地開展,對(duì)于高精度、低功耗能夠進(jìn)行檢測(cè)高度的氣壓傳感器的需求也不斷高漲。
因此,我公司應(yīng)用了村田芬蘭擁有的靜電容量型MEMS技術(shù),完成了提高對(duì)溫度漂移的性能、降低噪聲水平為0.5Parms、能夠檢測(cè)出高低差的氣壓傳感器的開發(fā)。此產(chǎn)品相當(dāng)于5cm的噪聲水平。
并且,通過采用靜電容量型,從而實(shí)現(xiàn)了低功耗,能夠?yàn)樵O(shè)備的節(jié)能作出貢獻(xiàn)。此產(chǎn)品除了能夠應(yīng)用于衛(wèi)星導(dǎo)航和活動(dòng)監(jiān)視系統(tǒng),我們也期待著能夠有效利用于醫(yī)療保健設(shè)備和收集氣象數(shù)據(jù)等方面。

產(chǎn)品特點(diǎn)
高精度

提升對(duì)溫度漂移的性能

受到溫度變化的影響,氣壓檢測(cè)數(shù)據(jù)會(huì)有容易產(chǎn)生漂移的問題。我公司的氣壓傳感器幾乎完全不受到影響,能夠經(jīng)常取得正確的數(shù)據(jù)。


用途
導(dǎo)航系統(tǒng)、活動(dòng)監(jiān)視系統(tǒng)
醫(yī)療保健設(shè)備
氣象數(shù)據(jù)采集等

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